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凈化設備

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廣西南暉制冷電氣有限公司
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      伴隨著中國半導體工業、中國顯示器行業飛快地進步,我們也正好是伴隨著這個行業在成長,因此通過對一些項目簡單地介紹,讓這個技術性的發展,來對中國的潔凈室和半導體行業起到作用,因為工作環境是相當高的。

 從范圍來講,有寬通空調系統、潔凈裝修、環氧涂裝、自流平、PVC地板、駕空地板、大宗氣體系統、特殊氣體系統、化學品、純水,這個我們達到了18.2兆的水平,這是世界的水平。還有廢水和其他的一些。

  這個是我們國家條日電電子工程生產線。月投片是8000片,那么,這兩個工程是我們屬于現代電子工廠建設的前期。我們把它作為一個高科技的工廠的前期。

  從潔凈室來說,它是一個比較全面的,因為時間的關系,我們不能做全面的介紹,只能從空調方面來做介紹。它對于我們國家來說,也是革命性的環境的解決方案。

  這是我們典型的早期的方案,這一塊的半導體工廠的人員、車間都是在這個位置。那么,上下都是新風機,那么它的工作原理是在天花頂層有一個反復的高效作用器。這上面兩個是循環空調機,也可以放在上面,也可以放在側面。通過新風機組補充新風,通過循環風機把潔凈室通過地面下來的回風,通過循環風機對于冷量和濕度的調節,然后送到靜壓箱進行混合,然后通過頂部循環到車間里面去。

這樣,使我們整個的氣體,跟我們大型的空調不一樣。我們大型的空調可能只有幾個功能,這里是所有的空氣從頂層全部壓下來。這是我們步實現的現代潔凈室的原理,它達到了100級以上。

  100級是什么概念呢?舉個例子,今天大家在做的環境,是我們看到的非常干凈的環境,應該是多少級呢?是200萬到300萬級,就是每立方英尺大于5個顆粒,就是相當于3.05平方米,這么大的體積里面所擁有的超過0.5以上的微米是多少。那么,我們今天這個環境,我估計在200萬到300G。那么,這樣的潔凈室,達到的是100微米,就是不能超過100微米,得小于100微米。

  我們的集成電路在封裝之前,它的導線我們國家保守地說是0.08微米,也有說是0.07微米。所以,三個電路產生出來的全部是這個,所以環境對于成品是非常關鍵的。這是達到了100級的潔凈室。 <BR> 那么,到了90年代末期,比如說長虹等等的廠家,我們弄了一個909工程開始上馬了。潔凈室的建筑面積達到了13千平方米,凈化面積是1G。那么剛才說的是100級,那么現在說的是1級。剛才我講的0.5微米以上是100級,那么這里要求的是更高,是0.12微米。所以潔凈室的技術進一步提高了。

  通過干盤管進行溫度的交換,在兩邊從這里往上走。走到我們上面的靜壓箱,然后通過另外一個全新的設備,就是FFU,這是什么意思呢?就是高效空氣過濾單元,通過它往下走。新風空調機在這里,我們要往上送,它從創新的角度核心上來說,就是用了FFU這個東西。

  它從工作原理上,解決了我們前面一個原理。前面一個過程是什么呢?雖然是完全從頂上壓下來,我們空氣潔凈決定空氣的氣流組成形式。就是從理論上,要嚴格地每一個空氣都垂直下來,全部地壓下來。這樣的話,我們的空氣會相當地干凈。但是,事實上做起來會非常困難。

      困難作哪里?我們可以看到,它是通過外部的風機把它送上去,送進去以后在這里往下壓。那么,這必然存在著一個阻力不平衡的問題,那么阻力大的地方風速就大,阻力小的地方風速就小,就不能嚴格地保證這個風體的垂直性。

  我們這里把整個的屋面,保證垂直的情況下,這樣才能做到1級。1級是什么概念?就是1平方米只能是1微米,但是做可不能這樣,因為你考慮不能按照60分考,你按照60分考,你就可能是58分。所以,你要按照70分、80分去考,所以1微米等于是沒有做。

  到了這個級別我們的凈化是跟FFU的物質密度有關系,那么物質密度越大,氣流就越多,但是帶來的問題是對于整個空氣循環的量非常大。那么,我們這邊通道的要求就要很寬敞,那么空氣的量越大,對于空氣處理的量就越大。我們空氣每發生一次循環,就有一個溫升,溫度就要提高,所以冷卻。所以,它處理的量就大了,那么這邊的阻力就加大了。

所以剛才前面這種方式,帶來的一個問題就是,所有的空氣全部要從這里翻過去。那么,整個把這里布滿了,溫度還處理不過來。

  這個是上海廣電的潔凈室,他的面積達到了5萬平米。那么,它帶來的問題,就是說這里有一個叫做RHU來解決問題。這個區域是我們車間,所以我們的潔凈室的造價是非常昂貴的,這么大的房子里面真正用于生產的只有這么小的地方,上面的是級別高的地方有風機,級別低的地方也有風機。

  下面的室外送風機凈化了室內的空氣,凈化排氣排出了室內的空氣。通過RHU這個設備,把新風送上去。這個設備既對室內溫度進行了控制,又增加了送風的動力,減少了剛才談的所帶來的一個阻力比例,把這個空氣循環的速度加快了,速度見效了。也就是說,RHU選用的,使得照明系統降低了。

  這是剛完成的一個項目,它的潔凈區面積達到了12000平方米。我們平常看到的潔凈室的面積是很小的,有幾百平米就是好的。那么,這個方式跟剛才那個方式幾乎是一樣的,但是作為一個小小的區別,就是RHU的設備,不是座落在一個角落上,它是在整個的下加層都可以。那么,這是房間設置中的車間。對于車間的生產設備的限制變小了,下面的RHU的布置率可以不斷地增加。所以,空氣的溫度和濕度的處理,就得到了一個提升。這就使得空氣回來在這里處理,然后處理完了再回到潔凈室。

  它解決了我們工廠經常發生的技術升級的問題,因為技術升級帶來了設備的調整。設備的熱量和濕度的數不是一個穩定的,隨著它的變化可以通過RHU分解增加來解決。所以,這使一個工廠變得非常靈活可用。我們知道,潔凈廠房的成本非常高,所以這樣可以擴大利用率。 現在的潔凈室的建設越來越大,這是一個四川的顯示器公司的潔凈室的建設,他們目前是中國的潔凈室,面積達到了2萬米。這個方式還是用了RHU的方式,他們對于潔凈室的要求很高,他們的空氣處理量相對比較少,他們也是有了FFU,就是單密度空氣,通過FFU處理完,送到潔凈室,潔凈室再通過地板回到下加層,是這么一個循環過程。如果級別提高的話,那么這個可以更成熟。

  針對目前我們比較流行的節能減排的提倡,我們也做了一個潔凈室的經驗值比較。這個是我們國內早的潔凈室,它們的能耗,隨著庫存率的提高,這個是以平米的消耗能源的噸位數為基礎。當我們目前采用了FFU的方式之后,我們可以看到基本上一半的潔凈室達到了50%

  現在我們國家的潔凈室的一期的投入增大,大家后期的維護成本降低了。


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