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DFS4000系列質量流量計簡介
產品概述:
DFS4000是采用世界領先的微機電系統流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）。
DFS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
DFS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計；
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用；
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量；
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高；
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓；
- 零點穩定度高；
- 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性；
- 低功耗、低壓損；
- 響應速度快；
產品技術參數:
|
性能參數 |
DFS4003 |
DFS4008 |
單位 | |
|
通 徑 |
3 |
8 |
mm | |
|
流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM | |
|
量程比 |
100:1 |
| ||
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% | ||
|
重復性 |
0.75 |
% | ||
|
零點輸出飄移 |
±30 |
mV | ||
|
輸出飄移 |
0.12 |
%/oC | ||
|
響應時間 |
100 |
ms | ||
|
工作電源 |
8~18Vdc,100mA |
| ||
|
輸出方式 |
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
| ||
|
流量壓損 |
100 |
600 |
pa | |
|
工作壓力 |
0.5 |
MPa | ||
|
工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC | ||
|
存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC | ||
|
工作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露） |
| ||
|
機械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 |
| ||
|
校準方式 |
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
| ||
|
重量 |
57（帶R1/4,BSPT1/4接口） |
g | ||
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