深圳流量計(jì),江門流量計(jì),湛江流量計(jì),惠州流量計(jì) 東莞流量計(jì),汕頭流量計(jì),佛山流量計(jì),梅洲流量計(jì),肇慶流量計(jì),潮洲流量計(jì),廣東流量計(jì),廣州流量計(jì),中山流量計(jì),河源流量計(jì)
HFS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出,通過(guò)通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點(diǎn):
機(jī)械尺寸:
技術(shù)參數(shù):
HFS5001 | ||
量程范圍 |
0~20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 | sccm |
量程比 | >100:1 | |
精度 | ±(1.5±0.2FS) | % |
重復(fù)性 | ±0.75 | % |
零點(diǎn)輸出飄逸 | ±30 | mV |
輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
響應(yīng)時(shí)間 | 100(默認(rèn),50,100,200,500,100設(shè)置) | ms |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | |
輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
流量壓損 | 900 | Pa |
流量壓力 | 0.8 | MPa |
工作溫度 | -5~+45 | oC |
存儲(chǔ)溫度 | -20~+55 | oC |
工作濕度 | <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露) | |
機(jī)械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊) | |
校準(zhǔn)方式 | 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa | |
重量 | 17.5 | g |
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